金属スパッタ膜
成膜可能な基板サイズ、ターゲット、特徴 <最大ワーク寸法> W160×L325×H110(mm) ※Al+SiOx膜における最大有効エリアです。 <ワーク材質> ワークへの熱ダメージが極めて少ないため、PC、PET、PB…
成膜可能な基板サイズ、ターゲット、特徴 <最大ワーク寸法> W160×L325×H110(mm) ※Al+SiOx膜における最大有効エリアです。 <ワーク材質> ワークへの熱ダメージが極めて少ないため、PC、PET、PB…
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