【公式】株式会社トーカイ｜最先端の薄膜成膜技術。薄膜の蒸着・成膜・スパッタリングなど。光学技術が脚光を浴びる今日、その情熱をいっそう強く持って事業展開をしております。

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Coating to large size material

当社の超音波洗浄装置は約320㎜×320㎜の大板基板の洗浄に対応可能ですので、外観品質を求められる半導体装置向けの製品へも対応しております。

その他、照明設備に用いられるさらに大きい基板については処理方法を替え処理しており、500mm程度の基板についも成膜加工が可能ですので大板基板につきましてもご相談ください。

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