当社の超音波洗浄装置は約320㎜×320㎜の大板基板の洗浄に対応可能ですので、外観品質を求められる半導体装置向けの製品へも対応しております。

その他、照明設備に用いられるさらに大きい基板については処理方法を替え処理しており、500mm程度の基板についも成膜加工が可能ですので大板基板につきましてもご相談ください。