成膜可能な基板サイズ、ターゲット、特徴 ＜最大ワーク寸法＞ W160×L325×H110(mm) ※Al+SiOx膜における最大有効エリアです。 ＜ワーク材質＞ ＜成膜可能ターゲット＞ 着き周り評価 A B C 反射率:450nm 89.2 88.0 88.8 反射率:700nm 89.24 87.9 88.1 KOH試験（※） ○ ○ ○ ※基材：PC※A…